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爱德华分子泵维修

发布单位:北京京衢科技有限责任公司  发布时间:2023-11-27  123.157.216.*



edwards stp1003 是新型的涡轮分子泵,可用于-的半导体应用。edwards 的转子技术可实现的性能,大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了-。英国爱德华stp1003 涡轮分子真空泵维修
  应用
  金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、-物和溴化物)
  电子回旋共振 (ecr) 刻蚀
  薄膜沉积 cvd、pecvd、ecrcvd、mocvd
  溅射
  离子注入源,射束线泵送端点站
  mbe
  扩散
  光致抗蚀剂脱模
  晶体/晶膜生长
  晶片检查
  负载锁真空腔
  科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  高能物理:射束线、加速器
  放射线应用:融合系统、回旋
  功能和优势
  -的转子技术
  大的制程灵活性
  无油
  低振动
  高度-
  免维护
  可用于严苛制程(c 型)
  使用寿命延长
  -的控制器设计
  自动调整
  自行诊断功能
  直流电机驱动
  无电池运行
  紧凑型设计
  占地面积小
  爱德华分子泵维修
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